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參數(shù) | 沿X和Y方向的行程范圍可達(dá)75米 | | |
Piezoconcept 雙軸納米定位器產(chǎn)品介紹
HS1H系列是一款緊湊型納米定位器,可以組合成2軸甚至3軸納米定位系統(tǒng)。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的運動范圍,中心孔徑為 33 mm,
是光學(xué)顯微鏡應(yīng)用的理想選擇。由于采用直接驅(qū)動結(jié)構(gòu),它具有特別快的步進(jìn)響應(yīng)時間。
Z-STAGE系列是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動納米定位器,具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑(LF66 / LFHS2)的2軸納米定位器結(jié)合使用,以獲得SPM3或SPM3LR。Z載物臺可提供 5、10、25 或 50μm 的運動范圍。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(提供高功率控制器)。
TT1系列是一個 1 軸載物臺 (Theta),運動范圍為 5 或 10mrad。它是需要光束控制的應(yīng)用的理想工具。
這使得這款高速載物臺成為粒子跟蹤、光學(xué)鑷子、光束穩(wěn)定和掃描顯微鏡等應(yīng)用的暢銷產(chǎn)品。
LFHS2是一款 2 軸超高速納米定位器,沿 X 軸和 Y 軸的行程范圍高達(dá) 75μm,具有 66mm x 66mm 的大孔徑和高于 2kHz 的兩軸諧振頻率。
如果需要,它還可提供集成的Z軸(50μm行程范圍)(參見3軸型號LFHS3),該壓電級可以與粗定位的微載物臺結(jié)合使用(參見我們的混合系統(tǒng))。
使用高功率控制器可以實現(xiàn)高速掃描和短于2ms的步進(jìn)響應(yīng)時間。
產(chǎn)品參數(shù):
運動范圍(um):30
分辨率(nm):0.03
噪聲下限(nm典型值)0.003
重復(fù)性(nm):0.06
線性化(典型值共振頻率(Hz):0.02%
線性化:0.02%
剛度(N/um)0.6
傳感器尺寸Wx L x H(mm):120.8x120.7x28.5
材料電纜長度(m):2
控制器最大負(fù)載:1
水平使用垂直使用:0.5
諧振頻率XY(Hz):3000/2000
剛度XY(N/um):4/3
產(chǎn)品圖紙:
Piezoconcept 雙軸納米定位器產(chǎn)品介紹