德國(guó)SPS旋涂機(jī)光學(xué)設(shè)備POLOS 450參數(shù)

POLOS為半導(dǎo)體、生命科學(xué)、食品、實(shí)驗(yàn)室和制藥行業(yè)提供設(shè)備，特別是有針對(duì)性的支持；大學(xué)、R&D研究所和小型生產(chǎn)設(shè)施。我們的產(chǎn)品組合包括用戶(hù)友好和高度耐用的系統(tǒng)，主要在光刻和處理過(guò)程領(lǐng)域。

我們的波羅單晶片旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)可在NPP或PTFE。這些高質(zhì)量的旋涂機(jī)是專(zhuān)門(mén)為R&D和MEMS、半導(dǎo)體、生命科學(xué)、光伏、微流體等領(lǐng)域的小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)過(guò)程:清洗，沖洗/干燥，涂層，顯影，玻璃載玻片和蝕刻。

產(chǎn)品說(shuō)明
POLOS 450高級(jí)單襯底自旋處理器，臺(tái)式，帶NPP外殼、自旋杯、手動(dòng)化學(xué)分配和重型馬達(dá)。符合空氣動(dòng)力學(xué)的高效處理室提高了均勻性，而天然聚丙烯或不銹鋼處理室保證了無(wú)污染、易于清潔的處理區(qū)域。所有裝置都具有可編程的順時(shí)針和逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)和攪拌功能。

干燥、沖洗/清潔和自動(dòng)涂布

規(guī)格:

高達(dá)500毫米的圓形和350 x 350毫米的方形基板
材料:天然聚丙烯(高等級(jí)NPP、工具主體和所有浸濕表面)
手動(dòng)化學(xué)品分配2條自動(dòng)靜態(tài)分配線(xiàn)
氣動(dòng)蓋子打開(kāi)和關(guān)閉
卡盤(pán)適配器和一個(gè)真空卡盤(pán)，適用于多達(dá)3種晶片尺寸
最大速度1500轉(zhuǎn)/分
自動(dòng)順序或并行化學(xué)分配器
透明蓋子，中心周?chē)?個(gè)注射器組件。(每個(gè)可獨(dú)立編程)
順時(shí)針和逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)水坑
帶有可定制圖標(biāo)的(可拆卸)彩色觸摸屏
標(biāo)準(zhǔn)1英寸排水接頭
精密數(shù)字電機(jī)控制器(最高1500轉(zhuǎn)/分)
用于容納6x蠕動(dòng)泵的獨(dú)立模塊

德國(guó)SPS旋涂機(jī)光學(xué)設(shè)備POLOS 450參數(shù)